真空電機(jī)

作為我們U系列的直接兄弟，這些真空額定無(wú)鐵電機(jī)采用專門(mén)設(shè)計(jì)的線圈單元和磁軛，適用于高真空，低至10-8 mBar。 

 

除了我們常規(guī)無(wú)鐵電機(jī)的特點(diǎn)：重量輕，超精密，該系列還具有令人難以置信的平滑運(yùn)動(dòng)，并為此類系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了最低的除氣量。低排氣的重要性對(duì)某些應(yīng)用來(lái)說(shuō)至關(guān)重要，我們對(duì)此進(jìn)行了全面測(cè)試，如果您愿意，甚至可以為您提供準(zhǔn)確的規(guī)格和性能詳情。

 

UMV系列ULV系列UXXV系列

UMV系列

UMV真空吸塵器

峰值400N

連續(xù)80N

 

UMV線圈是真空額定直線電機(jī)系列中最小的線圈。該系列非常適合定位在例如龍門(mén)架或需要極高精度的高動(dòng)態(tài)，輕量級(jí)應(yīng)用中。 

 

熱管理是真空中的主要挑戰(zhàn)之一。因此，線圈單元設(shè)計(jì)成實(shí)現(xiàn)低熱阻（Rth），以使線圈單元能夠快速地將熱量從線圈傳導(dǎo)走。集成的溫度和切斷傳感器始終保證熱保護(hù)。

 

可以從這些電機(jī)中受益的關(guān)鍵行業(yè)，例如：

半導(dǎo)體

平板顯示器

檢查階段

光刻

電子束/離子束應(yīng)用

那么為什么選擇無(wú)鐵真空？

定義低釋氣量

沒(méi)有細(xì)節(jié)

高潔凈度

無(wú)需大型電纜引線 

可以放置在真空室的任何位置。