高速高精運動控制是電子制造裝備的核心技術之一。在IC芯片的封裝與檢測中,隨著芯片尺寸的減小,生產(chǎn)率要求的提高,封裝設備的加速度、速度和定位精度要求越來越高。這給運動控制器的設計提出了極大的挑戰(zhàn)。
     
　　速度方面，基于直驅(qū)結(jié)構(gòu)特點的直線電機具有相當大的優(yōu)勢，速度一般可達300m/min（以永磁同步直線電機為例，感應直線電機更高），加速度達到20g，能滿足絕大多數(shù)應用場合。直線電機高速限制與幾個因素有關（假設電機參數(shù)已定）：
(1)供電電壓，直線電機一般作為電動機使用，其反電勢會抵消母線電壓，進而限制速度，提高電壓可以提高電機的速度上限；
(2)鐵心材料，
直線電機龍門
 
　　同步轉(zhuǎn)速等于二倍的極距和頻率乘積，當極距一定，高速意味著更高的電流激勵頻率，而高的頻率帶來更多的鐵損，增加發(fā)熱，而一般使用的硅鋼片在設計時限制在一定頻率使用范圍；(3)其他系統(tǒng)組件，比如導軌允許運行的最大加速度一般小于5g、光柵尺以1um分辨率運行的速度一般低于5m/s。在高速應用系統(tǒng)中，要充分考慮各個組件的特點。
       
　　因此，直線電機針對不同的應用要進行不同的設計，主要有以下幾個因素（假設電壓一定）：

1、合理的極距設計，滿足最大速度時低于一定頻率的要求，限制鐵損發(fā)熱；

2、合理的繞組設計，根據(jù)速度要求設計電機力常數(shù)（對應反電勢常數(shù)）、電阻、電感，以滿足最高速度時的供電電壓需求；
 
3、加強冷卻，直線電機在改善發(fā)熱后速度還可以進一步提高。
 
     直線電機在加速度中，直線電機的精度是可以保證的
 
     直線電機具有高加速高減速、遠動慣量小、高靈敏、系統(tǒng)剛度高等優(yōu)點，光柵尺是閉環(huán)控制系統(tǒng)中的測量裝置。光柵尺只是一個反饋系統(tǒng)。比如步進電機配合滾珠絲杠平臺也可以加光柵尺作為反饋。直線電機，音圈電機這是必須用光柵尺做反饋的。為了實現(xiàn)全閉環(huán)，有時用了伺服電機之后，也會在機構(gòu)上加光柵尺。 一般是選好電機，根據(jù)機構(gòu)要求的精度，配合著選合適的光柵尺形成閉環(huán)反饋。
　　
    在實際應用中，需求是復雜的，需要綜合考慮；直線電機在高速應用中，不僅要考慮電機本身的耐受能力，還要綜合電機的外圍因素。但不論如何，直線電機的高運動性能仍是其明顯優(yōu)勢之一。